Ученые ТюмГУ изучили оптические свойства пленок диоксида титана

Ученые ТюмГУ изучили оптические свойства пленок диоксида титана

Наука и инновации 7 Ноября 2017 902

Диоксид титана – природное соединение, встречающееся в виде трех модификаций. Внимание исследователей к оксиду титана объясняется его свойствами, благодаря которым он может использоваться в микроэлектронике. В частности, для создания диэлектрических пленок в интегральных микросхемах, без которых сегодня не обходится ни одно микроэлектронное устройство. Изучение пленок оксида титана усложняется их существованием как в кристаллическом, так и в аморфном состоянии, и даже сочетанием этих двух фаз в пределах одной пленочной структуры.

Ученые Тюменского госуниверситета в сотрудничестве с учеными Института физики полупроводников имени А. В. Ржанова СО РАН, Новосибирского госуниверситета и Национального университета Чао Тун изучили микроструктурные и оптические свойства пленок диоксида титана. Для достижения цели авторы использовали целый комплекс передовых методов, включая дифракцию быстрых электронов, рентгеновскую дифрактометрию, атомно-силовую микроскопию и спектральную эллипсометрию.

Результаты показали, что пленки оксида титана, полученные методом электронно-лучевого распыления, только в течение короткого времени распыления находятся в аморфном состоянии. В свою очередь, для относительно толстых пленок рентгеновская дифрактометрия засвидетельствовала наличие фазы анатаза. Использование атомно-силовой микроскопии показало, что длительное распыление позволяет добиться большей упорядоченности структуры. Несмотря на это, общий характер микрорельефа в зависимости от длительности распыления пленок оксида титана не менялся. Оптические свойства полученных пленок оксида титана, по мнению авторов, хорошо описываются в рамках отражательной модели трехслойной структуры.

Авторы подчеркивают, что рассмотренные пленки оксида титана могут использоваться для изготовления микроэлектронных структур, а указанные методы исследования позволяют контролировать свойства таких пленок при изменении толщины. Статья об этом вышла в «Journal of Electronic Materials».


Источник:

Управление стратегических коммуникаций ТюмГУ


Кстати, мы завели канал в Telegram, где публикуем самые интересные новости из жизни Тюменского госуниверситета. Если вы хотите одним из первых читать эти материалы, то подписывайтесь: https://t.me/tyumen_university

Поделиться

Cмотрите также