НОЦ «Нанотехнологии»: оборудование

Научно-технологический комплекс NT-MDT НаноФаб-100 (2011)

DSC_0028-1.jpg

В состав комплекса входят:
  • Модуль магнетронного распыления
  • Модуль вторично-ионного масс-спектрометра
  • Модуль ионной имплантации
  • Модуль сухого плазмохимического травления

 
Сканирующий электронный микроскоп TESCAN MIRA3 LMU (2019)

DSC_0025-1.jpg

Микроскоп включает в себя:
  • Рентгеновский энерго-дисперсионный спектрометр (EDS)
  • Систему анализа картин электронной дифракции (EBSD)
  • Детектор катодолюминесценции (CL)
  • Столик Пельтье в сочетании с режимом низкого вакуума и напуска паров воды

 
Сканирующий электронный микроскоп JEOL JSM 6510-LV (2011)

DSC_0026-1.jpg

В состав входят:
  • Рентгеновский энерго-дисперсионный спектрометр (EDS)
  • Литографическая приставка

 
Зондовый микроскоп NT-MDT NTegra Aura

DSC_0029-1.jpg

  • Атомно-силовая микроскопия
  • Туннельная микроскопия
  • Возможность работы в вакууме


Оборудование для пробоподготовки к электронной микроскопии 
  • Система автоматического напыления углеродных покрытий JEOL JEC-570
  • Система автоматического напыления металлических покрытий Quorum Q 150R


Оборудование для электрических измерений дискретных устройств и интегральных схем 
  • Осциллографы (в т.ч. 4-х-канальный осциллограф Tektronix TDS2024С)
  • Источник-измеритель тока-напряжения Keithley 2400
  • Генератор импульсов произвольной формы Tektronix AFG3052C
  • Пикоамперметр Keithley 6485





-BIO
Институт экологической
и сельскохозяйственной
биологии
ТюмГУ

625003, Тюменская область,
г. Тюмень, ул. Ленина, 25

Михаил Жак
Заместитель директора
(3452) 59-74-00
Марат Шамсимухаметов
Руководитель учебного офиса
(3452) 59-74-00